Experimentelle Untersuchung der Strömungsvorgänge im Simulationsmodell der Silizium-Einkristall-Herstellung nach dem Czochralski-Verfahren
Projektleiterin: Dr.-Ing. Jelena Aleksic
Heute besteht kein Zweifel mehr daran, daß die thermische und thermokapillare Konvektion die dominierende Rolle beim Impuls-, Wärme- und Stoffaustausch in Czochralski Kristallzüchtung spielt. Aufgrund der Komplexität des Problems reichen die Messungen nur in einem Punkt des Strömungsfeldes nicht aus um die Topographie der Strömung vollständig zu verstehen. Deswegen ist eine quantitative Auswertung der Geschwindigkeit und der Temperatur thermisch angetriebener Konvektion eines ganzen Strömungsfeldes von großer Bedeutung. Die Bestimmung der Geschwindigkeitsfelder erfolgt mit Hilfe von Particle Image Velocimetry (PIV). Der Wärmetransport wird mit einer neuen Strömungsmesstechnik, Particle Image Thermometry (PIT), bestimmt. Ausführlichere Informationen zu diesem Projekt sind hier zu finden. Die Publikationsliste zu diesem Projekt ist hier zu finden. |
Bild: Modell der Meßzelle mit den Randbedingungen |
Bild: Temperaturfeld |
Bild: Geschwindigkeitsfeld |